Ievads dubultstaru skenēšanas elektronu mikroskopijā (DB-FIB)

Svarīgs aprīkojums mikroanalīzes paņēmieniem ir: optiskā mikroskopija (OM), dubultstaru skenējošā elektronu mikroskopija (DB-FIB), skenējošā elektronu mikroskopija (SEM) un transmisijas elektronu mikroskopija (TEM).Šodienas raksts iepazīstinās ar DB-FIB principu un pielietojumu, koncentrējoties uz radio un televīzijas metroloģijas DB-FIB apkalpošanas iespējām un DB-FIB pielietojumu pusvadītāju analīzē.

Kas ir DB-FIB
Divstaru skenējošais elektronu mikroskops (DB-FIB) ir instruments, kas vienā mikroskopā integrē fokusēto jonu staru un skenējošu elektronu staru kūli, un tas ir aprīkots ar tādiem piederumiem kā gāzes iesmidzināšanas sistēma (GIS) un nanomanipulators, lai sasniegtu daudzas funkcijas. piemēram, kodināšana, materiālu uzklāšana, mikro un nano apstrāde.
Tostarp fokusētais jonu stars (FIB) paātrina jonu staru, ko rada šķidrā gallija metāla (Ga) jonu avots, pēc tam fokusējas uz parauga virsmu, lai radītu sekundāros elektronu signālus, un to savāc detektors.Vai arī izmantojiet spēcīgu strāvas jonu staru, lai iegravētu parauga virsmu mikro un nano apstrādei;Fiziskās izsmidzināšanas un ķīmisko gāzu reakciju kombināciju var izmantot arī, lai selektīvi kodinātu vai nogulsnētu metālus un izolatorus.

DB-FIB galvenās funkcijas un pielietojumi
Galvenās funkcijas: fiksētā punkta šķērsgriezuma apstrāde, TEM parauga sagatavošana, selektīva vai uzlabota kodināšana, metāla materiālu uzklāšana un izolācijas slāņa uzklāšana.
Pielietojuma joma: DB-FIB plaši izmanto keramikas materiālos, polimēros, metāla materiālos, bioloģijā, pusvadītājos, ģeoloģijā un citās pētniecības un saistīto produktu testēšanas jomās.Jo īpaši DB-FIB unikālā fiksētā punkta pārraides parauga sagatavošanas iespēja padara to neaizvietojamu pusvadītāju bojājumu analīzes iespējās.

GRGTEST DB-FIB pakalpojuma iespēja
DB-FIB, ko pašlaik aprīko Šanhajas IC testu un analīzes laboratorija, ir Thermo Field Helios G5 sērija, kas ir vismodernākā Ga-FIB sērija tirgū.Sērija var sasniegt skenēšanas elektronu staru attēlveidošanas izšķirtspēju, kas mazāka par 1 nm, un ir vairāk optimizēta jonu staru veiktspējas un automatizācijas ziņā nekā iepriekšējās paaudzes divu staru elektronu mikroskopija.DB-FIB ir aprīkots ar nanomanipulatoriem, gāzes iesmidzināšanas sistēmām (GIS) un enerģijas spektra EDX, lai apmierinātu dažādas pamata un uzlabotas pusvadītāju atteices analīzes vajadzības.
Kā spēcīgs instruments pusvadītāju fizisko īpašību bojājumu analīzei, DB-FIB var veikt fiksēta punkta šķērsgriezuma apstrādi ar nanometru precizitāti.Vienlaikus ar FIB apstrādi skenēšanas elektronu staru ar nanometru izšķirtspēju var izmantot, lai novērotu šķērsgriezuma mikroskopisko morfoloģiju un analizētu sastāvu reāllaikā.Panākt dažādu metālisku materiālu (volframa, platīna u.c.) un nemetālisku materiālu (ogleklis, SiO2) nogulsnēšanos;TEM īpaši plānas šķēles var sagatavot arī fiksētā punktā, kas var atbilst īpaši augstas izšķirtspējas novērošanas prasībām atomu līmenī.
Mēs turpināsim investēt modernās elektroniskās mikroanalīzes iekārtās, nepārtraukti pilnveidosim un paplašināsim ar pusvadītāju kļūmju analīzi saistītās iespējas un nodrošināsim klientiem detalizētus un visaptverošus kļūdu analīzes risinājumus.